OHT：自動化的重要核心

 
OHT車輛的乘客是「晶圓」。在半導體的製造過程中，晶圓是單晶矽錠的薄圓形切片，是製造積體電路的重要組件。晶圓須歷經數百個物理和化學處理步驟，最終形成一件完整的產品，因此以更有效率的方式輸送晶圓至設備，是至關重要的一件事。為實現此目標，三星利用OHT裝置自動將晶圓輸送至生產流程的每一個階段。一旦晶圓被裝入一種稱為「FOUP」（Front Opening Unified Pod）的特殊容器裡，OHT車輛便會載運它們，沿著吊軌穿梭在複雜的線路上。

安全感應器

 
OHT車輛沿著不同的路線行駛，而在軌道的交叉路口，常會遇到其它OHT車輛。為確保車流速度的穩定且不發生碰撞，每一輛OHT車輛和每一個交叉口處，都設有安全感應器。當感應器在指定區域內偵測到兩輛以上的OHT車輛時，OHT車輛將自動減速以確保安全。在半導體製造設施所採用的諸多技術當中，這項系統是三星結合軟硬體實力的絕佳實例。

更重要的是，OHT系統搭載監測機器零件狀況的眾多感應器，為需要檢查或更換的零件提供診斷，其作用猶如汽車儀表板上的即時測量儀器與警報器。

全方位管理

 
自動化OHT設備的使用有助於提升生產效率，就像精心設計的交通運輸系統，確保城市交通的順暢。沿著直線軌道行進時，OHT車輛的平均行駛速度可達每秒5公尺(時速18公里)；彎道的平均速度則為每秒1公尺(時速3.6公里)。

OHT車輛的相關資訊，透過無線傳輸至安裝在集成控制系統裡的中央伺服器，因此能完全掌握半導體製造設施中每台OHT車輛的動態，猶如城市中的交通控制中心，能監控整座城市的交通流量。集成控制系統不僅能監控OHT車輛的整體車流量，還能即時監控每台OHT車輛的等待時間，並確保能在預定的時間內，沿著指定的路徑移動。此外，更能判斷每台車的最快路徑，甚至可以控制特定車輛的動作。

OHT系統為自駕車勾勒未來的藍圖。在無人駕駛的情況下，更快、更有效率地運載乘客。透過這些自動駕駛車輛的研發，三星將繼續打造、營運更智慧化的半導體製造設施。